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深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司

單面CMP拋光機(jī)

型號(hào):DL-855/4P

該設(shè)備為單面平面化學(xué)拋光,采用先進(jìn)的機(jī)械結(jié)構(gòu)和多種先進(jìn)控制方法,拋光加工效率高,運(yùn)行穩(wěn)定。

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單面CMP拋光機(jī)
設(shè)備優(yōu)勢(shì)

> 本設(shè)備為單面精密拋光設(shè)備,采用先進(jìn)的機(jī)械結(jié)構(gòu)和多種先進(jìn)控制方法,拋光加工效率高,運(yùn)行穩(wěn)定


> 整機(jī)采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng),設(shè)備參數(shù)設(shè)置和操作簡(jiǎn)單方便,系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定性高


> 主電機(jī)采用變頻調(diào)速控制,實(shí)現(xiàn)主機(jī)軟啟動(dòng)、軟停機(jī)降低設(shè)備運(yùn)行沖擊,減少工件損傷


> 工件拋光壓力采用氣缸加壓方式,通過電氣比例閥控制實(shí)現(xiàn)壓力的閉環(huán)控制,保證極高的施壓精度與穩(wěn)定性


> 上壓盤采用主動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式,在確保產(chǎn)品撤光速率的前提下保證各工位拋光加工的統(tǒng)一性


> 拋光盤與上壓盤都設(shè)置了冷卻水冷卻功能,在保證拋光液發(fā)揮最大效率的同時(shí)減少拋光盤面的變形

性能參數(shù)

CMP拋光機(jī)參數(shù)_畫板 1.jpg

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