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深圳市夢啟半導(dǎo)體裝備有限公司

晶圓拋光機(jī)廠家
晶圓拋光機(jī)廠家

夢啟半導(dǎo)體裝備玻璃研磨解決方案

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發(fā)布時間 : 2026-08-24 09:21:01

夢啟半導(dǎo)體團(tuán)隊擁有半導(dǎo)體大廠(世界500強(qiáng))工作經(jīng)歷、20年以上半導(dǎo)體封測經(jīng)驗、專攻削磨拋設(shè)備技術(shù)/工藝多年,為國內(nèi)外眾多行業(yè)提供研磨解決方案,玻璃研磨是其中之一。

 

一、玻璃研磨

主要為光學(xué)玻璃、石英玻璃、視窗防護(hù)玻璃、后蓋玻璃等產(chǎn)品提供精密研磨設(shè)備和服務(wù)。

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 1. 去除損傷層

前道銑磨 / 粗磨會在玻璃表面產(chǎn)生微裂紋和亞表面損傷層(深度可達(dá)幾十微米),研磨的首要目的就是去除這層損傷,避免后續(xù)拋光后缺陷暴露。

 

 2. 保證面形精度

通過研磨將工件加工到接近設(shè)計的曲率半徑、面形精度(PV/RMS)和尺寸公差,為拋光工序奠定形狀基礎(chǔ)。拋光去除量很小(通常僅微米級),面形主要靠研磨保證。

 

3. 降低表面粗糙度

將粗磨后的粗糙表面(Ra 通常數(shù)微米)加工到亞微米級粗糙度,使表面均勻細(xì)膩,減少拋光時間和拋光面形畸變風(fēng)險。

 

 4. 消除表面缺陷

去除劃痕、麻點、崩邊、燒傷等宏觀缺陷,獲得均勻一致的加工表面。

 

5. 改善表面一致性

批量加工中保證各鏡片之間面形、厚度、曲率的一致性,便于后續(xù)鍍膜和裝配。

 

一、解決方案

夢啟半導(dǎo)體為客戶提供一站式解決方案,助力精品打造。客戶可根據(jù)實際需求,選擇常規(guī)方案,或根據(jù)實際情況、特殊工藝需求,定制方案。

 

1. 全自動雙工位減薄研磨機(jī)

◆ 核心特點:全自動高精密,多工位同步運行,產(chǎn)出高效優(yōu)質(zhì),采用

自主產(chǎn)權(quán)靜壓氣浮磨削主軸

◆ 工件尺寸:可進(jìn)行4寸(40μm)~12寸(80μm)超薄工件加工,兼

容Φ100~300mm工件磨削減薄加工

◆ 適用場景:玻璃、太陽能電池片、LED芯片、硅片、藍(lán)寶石片、砷化鎵、氮

化鎵、鉭酸鋰、鈮酸鋰等硬脆材料的粗磨、精磨


2. 全自動雙工位倒角機(jī)

◆ 核心特點:全自動高精密,雙工位同步運行,產(chǎn)出高效優(yōu)質(zhì),自主

研發(fā)磨削主軸、承片主軸、視覺定位和測厚系統(tǒng)

◆ 工件尺寸:可進(jìn)行Φ4"、Φ6"、Φ8"、Φ12",0.4mm-1.5mm厚的工件雙面倒角加工

◆ 適用場景:玻璃、太陽能電池片、LED芯片、硅片、藍(lán)寶石片、砷化、氮

化鎵、鉭酸鋰、鈮酸鋰等硬脆材料的邊角研磨


3. 拋光機(jī)

主要應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體行業(yè)、硅基領(lǐng)域。如:玻璃、硅片、藍(lán)寶石、碳化硅、金剛石、砷化鎵、氮化鎵鉭酸鋰、鈮酸鋰等硬脆材料的表面拋光

(1)銅拋機(jī)

(2)CMP軟拋機(jī)



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